CN120090592A 微机电系统器件及其制造方法 （赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120090592A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510133364.5H10N30/082(2023.01)

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人赛莱克斯微系统科技（北京）有限公

司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区科创八街21号院1号楼(北京自

贸试验区高端产业片区亦庄组团)

(72)发明人李健飞王飞飞时鹏程徐宝盈

(74)专利代理机构北京众达德权知识产权代理

有限公司11570

专利代理师周旋

(51)Int.Cl.

H03H9/02(2