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溅射沉积氧化铌涂层的微观结构调控与性能研究.pdf

溅射沉积氧化铌涂层的微观结构调控与性能研究.pdf

    摘要

    钛合金因其优异的生物相容性和力学性能，在骨植入物领域得到了广泛应用。

    然而，钛合金在临床应用中仍面临耐磨损和耐腐蚀性不足的问题，导致植入物在

    体内早期失效。氧化铌具有优异的生物相容性、耐腐蚀性和耐磨性能，因此将氧

    化铌涂层沉积在钛合金表面可以有效延长其服役寿命。磁控溅射工艺制备的涂层

    具有成分均匀、可控、结合良好等优点，但该工艺在沉积涂层过程中存在阴影效

    应，可能导致涂层内部出现疏松多孔结构。为解决这一问题，本文采用元素掺杂

    与退火处理工艺，调控氧化铌涂层的微观结构，并系统探讨了不同氧化物掺杂、

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