基于多重分形的液动压悬浮抛光基盘流场特性与应用研究.docx

基于多重分形的液动压悬浮抛光基盘流场特性与应用研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，超光滑表面加工技术对于光学仪器、航空航天、国防工业等高尖端领域至关重要。随着产品的不断更新换代，这些领域对工件表面质量要求日益提高，超光滑表面加工技术已成为当今制造业研究的热点方向。液动压悬浮抛光作为一种非接触式抛光方法，能够有效避免传统抛光中磨粒与工件表面刚性接触造成的细微划痕和损伤层问题，通过高速旋转的抛光工具与磨料悬浮液的相互作用，产生流体动压力和剪切力来实现抛光加工。其基本原理是抛光工具旋转产生的离心力将磨料悬浮液向表面喷射，使磨粒与工件表面相互摩擦；磨料悬浮液进入工件与抛光工具表面