CN119092420B 外延膜生长状态检测方法和检测系统 (楚赟精工科技(上海)有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-12 发布于山西
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CN119092420B 外延膜生长状态检测方法和检测系统 (楚赟精工科技(上海)有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119092420B

(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号202410907219.3

(22)申请日2024.07.08

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119092420A

(43)申请公布日2024.12.06

(73)专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司

地址201210上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区张江路665号三层

(72)发明人左志耀马法君姚忻宏

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师余明伟

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