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p型金属氧化物缺陷调控：解锁高灵敏度气敏特性的关键密码

一、引言

1.1研究背景与意义

随着工业化进程的飞速发展，环境污染问题日益严峻，各类有害气体的排放对生态环境和人类健康构成了巨大威胁。与此同时，工业生产规模的不断扩大和生产过程的日益复杂，使得工业安全面临着诸多挑战，有害气体的泄漏可能引发爆炸、中毒等严重事故。在这样的背景下，气体传感器作为检测各类气体的关键设备，在环境监测、工业安全等领域发挥着不可或缺的作用。准确、快速地检测出空气中有害气体的种类和浓度，对于及时采取措施、保障环境质量和人员安全具有重要意义。

金属氧化物半导体凭借其成本低廉、制备工艺简便、响应速度快以及灵敏度较高等诸多优