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《电子工业用二氯二氢硅》标准立项修订与发展报告

StandardizationDevelopmentReportofElectronicGradeDichlorosilane

摘要

电子工业用二氯二氢硅作为集成电路和电子器件用量最大、纯度要求最高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业。本报告基于《工业和信息化部关于发布2015年工业转型升级重点项目指南的通知》和《国家集成电路产业发展推进纲要》等国家政策文件，系统阐述了电子工业用二氯二氢硅标准化的目的意义、范围和主要技术内容。报告显示，二氯二氢硅在电子半导体、集成电路工业中具有广泛应用，其硅含量高、淀积效率高且能耗低的特点使其成为性能优异的外延淀积材料。本标准规定了电子工业用二氯二氢硅的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、存储等内容，并详细列出了24项关键性能指标。通过标准化工作，可规范行业质量，促进电子级二氯二氢硅规模化、产业化生产，提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，有效服务于国家战略需求。

关键词

电子工业用二氯二氢硅（ElectronicGradeDichlorosilane）、集成电路（IntegratedCircuit）、外延淀积材料（EpitaxialDepositionMaterial）、标准化（Standardization）、电子气体（ElectronicG