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基于CMOS-MEMS工艺的阻抗法细胞计数芯片研究

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基于CMOS-MEMS工艺的阻抗法细胞计数芯片研究

摘要:随着生物医学领域的快速发展,细胞计数技术成为研究细胞生物学、药物筛选等领域的重要手段。本文针对传统细胞计数方法存在的局限性,提出了一种基于CMOS-MEMS工艺的阻抗法细胞计数芯片。该芯片利用微机电系统技术,将细胞检测与信号处理集成于单一芯片上,实现了高精度、高灵敏度的细胞计数。通过对芯片的设计、制作和实验验证,验证

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