类金刚石薄膜材料教学提纲.pptVIP

类金刚石薄膜材料

碳是类金刚石膜的主要成分。碳元素有3种同素异形体，即金刚石、石墨和各种无定形碳。碳原子按组成键的不同存在3种不同形态，即sP1、sp2和sp3。类金刚石膜（DLC）是一种碳原子之间以共价键键合的亚稳态的非晶体材料，其共价键主要含有sp2和sp3两种杂化方式，同时在含氢的类金刚石膜DLC中还存在一些C-H键。

由于碳源和制备方法的不同，一些DLC薄膜中会含有一定量的H元素。因而DLC薄膜分为两大类――无氢DLC薄膜(简称a-Cfilms，非晶碳膜)和含氢DLC薄膜(简称a-c:Hfilms，含氢非氢碳膜)。

合成DLC的主要突破是来自于脉冲激光沉积（PLD）无氢DLC膜。PLD实验清除地证明，氢的存在不是形成sp3键的必要条件。来自脉冲激光束的高能光子将sp2键合碳原子激发成C＊（激发碳）态，这些激发态碳原子随后蔟合形成DLC膜，即

C（sp2键合）＋hｖC＊

C＊＋C＊（sp3键合）

因此，DLC合成方法可以分为两组：化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）方法。

制备方法

物理气相沉

（1）质量选择离子束沉积

（2）溅射碳靶

（3）真空阴极电弧沉积

（4）脉冲激光沉积（PLD）

（5）脉冲激光熔融（PLA）

化学气相沉积

（1）离子束沉积

（2）直流等离子体助CV