真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵.pdfVIP

真空技术真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂

（NEG）真空泵

1范围

本文件描述了非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵抽气性能的测量方法。

本文件适用于各种规格和类型的NEG真空泵，包含以下内容：

——丸形、碟形、环形、带形、块状和筒形非蒸散型吸气剂；

——泵的结构；

——管道和真空室内表面的NEG薄膜。

NEG真空泵与其他真空泵在抽气特性上的显著差异在于，其抽速取决于吸附量。此外，特别是在带

有NEG薄膜的情况下，抽气性能的指标往往是黏着几率而不是抽速。因此，本文件描述了NEG真空泵抽

速、吸附量和黏着几率的测量方法。

警告：本文件中假设用户熟悉对可燃气体和有毒气体的处理流程，并精通超高真空技术。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

非蒸散型吸气剂non-evaporablegetter

NEG

在真空室中用于吸收气体而无需蒸发的一种吸气剂材料。

注1：吸收气体是指通过表面吸附或吸收现象，从真空室中去除气体的过程。表面吸附即为气体保留在吸气剂材料表

面的一种吸附，多数气体分子化学吸附