光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法.pdfVIP

光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法

1范围

本文件规定了通过扫描电子显微镜、激光扫描共聚焦显微镜，对光学功能薄膜产品表观质量的检测

方法。

本文件适用于光学功能薄膜。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T33376光学功能薄膜术语及其定义

3术语和定义

GB/T33376界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

光学功能薄膜opticalfunctionalfilms

具有优良光学性能主要用于平板显示器的各种原膜和功能膜。

[来源：GB/T33376-2016，2.1.19]

夹杂物inclusion

基体中的异物颗粒。这些颗粒通常是化合物（如氧化物、氮化物、碳氮化物、硫化物或硅酸盐），

也可以是任何物质（本质上不溶于基体）。

凹坑pit

基体表面出现的小而尖锐、近似圆形的凹陷。

松散附着颗粒particlesthatlooselyadhere

颗粒超过3/4的体积在表面上。这些颗粒通常很亮，通过调整对