浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计.pdfVIP

水利电力技术‘建筑与发展

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浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计

朱冬林

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司上海分院200063

【摘要】随着集成电路工业迅猛发展，对于洁净室的生产环境提出了更高的要求，本文结合作者所设计工程项目的经验，论述了集成电路生

产厂房洁净室的空调系统设计和机械排烟系统设计的几种不同方案形式。

【关键词】集成电路洁净室空调排烟

1．引言这种系统中，新风独立处理，新风机组设于新风空调机房内，循

近年来，集成电路工业迅猛发展，已成为世界技术进步的主要支环空调器设于生产厂房的吊顶上方。新风经初效过滤器、加热(冬

柱，随着生产工艺的不断进步，对生产环境及其它配套设施的要求也季工况)、加湿(冬季工况)、冷却(夏季工况)、再热(调试