CN119422034A 干涉测量地确定测试对象的表面形状的方法和测量组件 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119422034A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202380048481.0

(22)申请日2023.06.20

(30)优先权数据

102022206650.22022.06.30DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0667132023.06.20

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/002799DE2024.01.04

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨