CN120195863A 一种基于激光辅助装置的干涉显微镜的对焦方法及系统 （苏州瑞霏光电科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120195863A

(43)申请公布日2025.06.24

(21)申请号202510467865.7G02B7/36(2021.01)

(22)申请日2025.04.15

(66)本国优先权数据

202510221755.22025.02.27CN

(71)申请人苏州瑞霏光电科技有限公司

地址215400江苏省苏州市太仓市娄东街

道北京东路88号东G一楼

(72)发明人沈子昂马银田顾伟中周宇波

孙帅帅杭宇浩

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代

理事务所(普通合伙)32257

专利代理师何毅

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