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洁净度检测配合施工方案

1.项目背景与目标

洁净度检测配合施工方案的核心目的，是在机电、装饰、工艺设备多专业交叉作业的环境下，通过“检测—评估—纠偏—再检测”的闭环管理，把微粒、微生物、化学污染三项指标始终压制在对应洁净等级上限的70%以内，为后续工艺设备搬入及试生产留出足够余量。项目地点为某6英寸车规级功率器件厂房，建筑面积12800m2，其中ISO6级（千级）区域3200m2，ISO7级（万级）区域5100m2，其余为辅助区。合同要求竣工后静态检测一次通过率在98%以上，动态验收节点提前15天完成。

2.洁净度检测总体策略

2.1检测阶段划分

阶段

起止节点

主要作业

检测目的

判定标准

①土建封闭后

顶板封完、门窗封闭后24h

围护泄漏、初尘量

发现土建渗漏及明显尘源

无肉眼可见裂缝，初尘≤0.5mg/m3

②空调机组空吹

空吹48h后

大粒子沉降量

考核粗效、中效过滤段效果

沉降菌≤5CFU/皿，沉降粒子≤100k颗/(m2·h)

③高效过滤器安装后

HEPA安装完、检漏后

检漏、0.3μm粒子

确认HEPA边框及滤材无漏

边框扫描≤0.01%

④静态验收

全专业完工、自清洁48h

全项洁净度

合同静态指标

ISO14644-1对应等级×0.7

⑤动态验收

工艺设备load80%运行

粒子、微生物、AMC

量产环境模拟

同上，振动速度≤0.5