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图像拼接赋能相移显微干涉：微结构表面形貌测量的创新突破

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）在众多领域得到了广泛应用，如航空航天、生物医疗、汽车电子、通信等。MEMS器件的性能很大程度上取决于其微结构的表面形貌，精确测量微结构表面形貌对于MEMS的设计、制造、质量控制和可靠性评估至关重要。例如，在生物医疗领域的MEMS传感器，其表面形貌的微小差异可能影响到对生物分子的吸附和检测精度，进而影响疾病诊断的准确性；在航空航天领域，MEMS惯性器件的表面形貌精度决定了其测量精度，对飞行