摘要
随着现代科学技术的快速发展,太赫兹技术已经成为前沿研究的热点领域之
一。太赫兹超材料器件作为一种兼有太赫兹技术高穿透性、非电离性和超材料灵
活、小型化特点的器件,在太赫兹传感领域具有广阔的应用前景。尤其是近年来,
二维结构的超材料——超表面(metasueface)的提出及加工技术的发展,为太赫
兹超材料传感器的研究提供了坚实的基础。然而,传统的金属结构的太赫兹超表
面传感器普遍存在Q值较低、对物质的
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