2025年石墨烯材料制备与应用手册
第1章石墨烯材料制备技术综述
1.1化学气相沉积法
CVD法利用高温炉管将含碳气源(如甲烷或乙烯)与载气混合,在受控气氛下分解并沉积在衬底表面形成石墨烯层,其核心在于精确控制反应温度与压力以优化碳原子排列密度。采用铜箔作为衬底材料,在900°C左右的高温环境下进行反应,通过调节反应气比例,可制备出厚度控制在0.3–0.5nm的单原子层石墨烯薄膜。
在反应过程中,需持续通入氩气作为保护气体,防止高温下碳与铜衬底发生氧化反应,从而保证石墨烯的高纯度和优异导电性能。通过优化反应腔体内的气体流速与流量比,可以有效控制石墨烯的结晶度,使碳原
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