用于绿色微流控应用天然虫胶材料研究.pdfVIP

W2P.049

用于绿色微流控应用的天然虫胶

R.Lausecker,V.Badilita,和U.Wallrabe弗赖堡大学，微系统工程系，微执行器实验

室，德国弗赖堡

虫胶热压印

我们在此引入虫胶作为可持续微流控领域的新材料。为了评估在不同温度和条件下虫胶热压成型制

造基本微结构的能力，使用光刻定义的SU‑8测试图案

我们通过虫胶热压印展示了晶圆级微结构制造的完

（包含10μm高的柱子和20μm到100μm横向尺寸的孔）

全“绿色”技术过程。该过程被称为“绿色”，因为它

制作了PDS。将虫胶溶解在乙醇中，滴加在4英

M

可以在完全不使用无尘室的情况下进行，速度快、成本