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CN119714121A 基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置 （法博思(宁波)半导体设备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-04-27 发布于重庆
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CN119714121A 基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置 （法博思(宁波)半导体设备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119714121A

    (43)申请公布日2025.03.28

    (21)申请号202510213599.5

    (22)申请日2025.02.26

    (71)申请人法博思（宁波）半导体设备有限公司

    地址315413浙江省宁波市余姚市三七市

    镇云山中路28号

    (72)发明人李志松侯懿宋金龙

    (74)专利代理机构北京华清迪源知识产权代理

    有限公司11577

    专利代理师王萌迪

    (51)Int.Cl.

    G01B11/24(2006.01)

    G01M11/02(2006.01)

    权利要求书2页说明书8页附图3页

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