微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法.pdfVIP

微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系

数测试方法

1范围

本文件规定了用于微机电系统、微机械以及其他微加工工艺的金属、陶瓷、聚合物等类

别固态材料线性热膨胀系数测量方法。

本文件适用于以下固态材料的线性热膨胀系数测定，尺度范围是长度0.1mm~1mm、宽

度10µm~1mm、厚度0.1µm~1mm，温度范围是室温至该材料熔化温度的30%。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注有日

期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包

括所有的修改单）适用于本文件。

T-339半导体器件微电子机械器件第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片

（IEC62047-3,IDT）

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件。

表1符号和缩略语

符号单位含义

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