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《集成电路工艺原理》教学大纲 (一).pdfVIP

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  • 2026-04-30 发布于河北
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《集成电路工艺原理》教学大纲 (一).pdf

    集成曲路工艺原理课程教学大纲

    一、课程的基本信息

    适应对象：本科，电子科学与技术

    课程代码：A9E02027

    学时分配:32

    赋予学分：2

    先修课程：模拟电子技术、字电子技术、集成电路原理与应用

    后续课程：

    二、课程的性质与任务

    本课程主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制，硅片包（含体硅片和外延硅片）的制

    造工艺及相关理论。并且介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集

    成与封装测试）的原理、方法、设备，以及所依托的技术基础及发展趋势。

    三、

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