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真空技术与应用手册

第1章

1.1真空状态定义与分类体系

真空并非绝对为零，而是指气体密度低于某一阈值的状态，其核心判据是帕斯卡公式$P=\rhoRT$，即压强与气体密度成正比。在工业标准中，通常将$P100\text{Pa}$定义为微真空，$P10\text{Pa}$视为高真空，$P1\text{Pa}$为超高真空，$P10^{-3}\text{Pa}$为超高真空，$P10^{-6}\text{Pa}$为超高真空，$P10^{-9}\text{Pa}$为超高真空，$P10^{-12}\text{Pa}$为超高真空。真空状态根据压力等级可分为几个主要类别：一级真空为$10^{-1}\text{Pa}$至$10^{-3}\text{Pa}$，二级真空为$10^{-3}\text{Pa}$至$10^{-6}\text{Pa}$，三级真空为$10^{-6}\text{Pa}$至$10^{-9}\text{Pa}$，四级真空为$10^{-9}\text{Pa}$至$10^{-12}\text{Pa}$，五级真空为$10^{-12}\text{Pa}$至$10^{-14}\text{Pa}$，六级真空为$10^{-14}\tex