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Ⅰ.CleanRoom特征无尘室的特性和管理专家讲座第1页

何謂CleanRoom?CleanRoom定義所謂CleanRoom是完全沒有灰塵房間。也稱做清淨室。超高密度集積回路就像操作遺傳因子一樣，對於在處理細胞內很微小遺傳因子地方，環境條件品質有很大影響。如此地方，環境中存有一點灰塵就會造成問題產生，連以肉眼看不到灰塵都不能存在。為了预防灰塵進入，從外部開始就要進行隔離，要進入人員需在門外將灰塵去除之後才進入，且為了在裡面人員不要產生灰塵需要穿上無塵服，以及為了去除灰塵必須設置所需要設備。无尘室的特性和管理专家讲座第2页

CleanRoom六個原則以下是CleanRoom六個原則预防particle侵入CleanRoom六個原則预防particle累積維持所需溫濕度及室內壓清淨空氣送風去除particle產物预防particle回收无尘室的特性和管理专家讲座第3页

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