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分床电去离子（EDI）技术：超纯水制备的创新路径与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科学研究领域，超纯水扮演着不可或缺的角色，其极高的纯度要求使其成为众多关键生产环节和实验的基础保障。在电子行业，尤其是半导体制造过程中，芯片的生产对水质纯度的要求近乎苛刻。超纯水被广泛应用于芯片制造的清洗、蚀刻等关键工序，哪怕是极其微小的杂质，都有可能对芯片的性能和良品率产生重大影响，进而影响整个电子产品的质量和稳定性。在生物制药行业，超纯水更是药品生产过程中的关键原料，从药物合成到制剂制备的每一个环节，都必须使用超纯水，以确保药品的质量和安全性，任何水质的细微变化都可能影响药品的疗效和患者的