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六方氮化硼表面石墨烯及其微纳结构制备.pdf

六方氮化硼表面石墨烯及其微纳结构制备.pdf

    摘要

    石墨烯具有优异的机械性能、热导率、透光率以及高载流子迁移率，这些特

    性使其在材料、能源、微电子等领域都可以发挥重要作用。目前在石墨烯的众多

    制备方法中，化学气相沉积法（CVD）被认为是最有希望实现石墨烯的大规模制

    备的方法，但是在金属衬底上制备的石墨烯在转移过程中容易引入杂质，对石墨

    烯质量产生影响，所以人们将研究的重点转向探究在绝缘衬底上的石墨烯的制备。

    本文研究了利用CVD法在绝缘六方氮化硼（h-BN）衬底表面的石墨烯制备工艺，

    通过氧等离子体处理在h-BN表面可控引入点缺陷，辅助

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