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2026年真空系统验证方案与泄漏率测试

一、单选题（每题2分，共20题）

1.在真空系统验证中，粗抽速通常指的是系统在什么压力范围内的抽气能力？

A.10?Pa到10?3Pa

B.10?3Pa到10??Pa

C.10??Pa到10?12Pa

D.10?Pa到10?Pa

2.真空系统检漏最常用的方法之一是氦质谱检漏法，其主要原理是利用氦气什么特性？

A.电离电位低

B.化学性质稳定

C.质量轻、扩散速度快

D.气体密度小

3.在设计真空系统验证方案时，泄漏率的单位通常使用什么？

A.Pa·L/s

B.m3/h

C.SCCM（标准立方厘米/分钟）

D.atm/h

4.真空系统的粗抽系统一般采用什么作为抽气设备？

A.真空泵

B.真空阀门

C.真空计

D.真空管道

5.超高真空系统的泄漏率要求通常低于多少？

A.1×10??Pa·L/s

B.1×10??Pa·L/s

C.1×10?12Pa·L/s

D.1×10?3Pa·L/s

6.真空系统的bake-out（烘烤）过程主要目的是什么？

A.提高系统温度

B.排除系统中的水分和挥发物

C.增加系统抽速

D.减少系统泄漏

7.在真空系统验证中，压力波动的测量通常使用什么仪器？

A.真空计

B.流量计

C