CN110770898A 具有处理器和动态随机存取存储器的键合半导体器件及其形成方法 （长江存储科技有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110770898A

(43)申请公布日2020.02.07

(21)申请号201980002072.0

(22)申请日2019.09.11

(66)本国优先权数据

PCT/CN2019/0826072019.04.15CN

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.10.24

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2019/1052902019.09.11

(71)申请人长江存储科技有限责任公司

地址430074湖北省武汉市东湖开发区关

东科技工业园华光大道18号7018室

(72)发明人刘峻程卫华

(74)专利代理机构北京永新同创知识产权代理

有限公司11376

代理人林锦辉刘景峰

(51)Int.Cl.

H01L25/16(2006.01)

H01L21/18(2006.01)

H01L21/60(2006.01)

H01L27/11(2006.01)

H01L27/108(2006.01)

权利要求书4页说明书21页附图18页

(54)发明名称

具有处理器和动态随机存取存储器的键合

半导体器件及其形成方法

(57)摘要

CN110770898A公开了半导体器件及其制造方法的实施例。在一个示例中，一种半导体器件包括第一