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- 2026-05-04 发布于山西
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111354625A
(43)申请公布日2020.06.30
(21)申请号201910777171.8
(22)申请日2019.08.22
(30)优先权数据
62/782,6932018.12.20US
16/363,3322019.03.25US
(71)申请人南亚科技股份有限公司地址中国台湾新北市
(72)发明人苏国辉
(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003
代理人谢强黄艳
(51)Int.Cl.
H01L21/02(2006.01)
权利要求书2
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