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CN111430207A 等离子体处理方法和等离子体处理装置 （三星电子株式会社）.docxVIP

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  • 2026-05-04 发布于山西
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CN111430207A 等离子体处理方法和等离子体处理装置 （三星电子株式会社）.docx

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111430207A

    (43)申请公布日2020.07.17

    (21)申请号201910964482.5

    (22)申请日2019.10.11

    (30)优先权数据

    10-2019-00030852019.01.10KR

    (71)申请人三星电子株式会社地址韩国京畿道

    (72)发明人宋承润朴赞训宣钟宇成正模韩济愚朴珍荣

    (74)专利代理机构北京市立方律师事务所11330

    代理人李娜王占杰

    (51)Int.Cl.

    H01J37/32(2006.01)

    权利要求书3页

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