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AlN薄膜腔声谐振滤波器：从理论设计到工艺制备的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，无线通信技术已经成为人们生活中不可或缺的一部分，广泛应用于移动电话、无线网络、卫星通信等众多领域。随着5G乃至未来6G通信技术的快速发展，对射频前端器件的性能提出了更为严苛的要求。滤波器作为射频前端的关键组成部分，其性能直接影响着无线通信系统的信号质量、通信容量和抗干扰能力。

传统的射频滤波器，如微波介质陶瓷滤波器和声表面波（SAW）滤波器，在应对现代无线通信的挑战时逐渐暴露出一些局限性。微波介质陶瓷滤波器虽然具有较好的性能，但体积较大，难以满足设备小型化的趋势；SAW滤波器