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III-V材料表面化学处理及其对蚀刻速率影响.pdfVIP

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  • 2026-05-11 发布于北京
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III-V材料表面化学处理及其对蚀刻速率影响.pdf

    固态现象第195卷（2013年）第98-99页，自起

    于©（2013）TransTechPublications，

    doi:10.4028/

    CIII‑V材料的倾斜：表面化学考虑

    1,21

    DennisH.vanDorpa，DanielCuypers,，SophiaArnauts,，Paul

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