CN119506841A 托盘承载装置、加载腔室、半导体工艺设备及传输方法 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119506841A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202311070354.9

(22)申请日2023.08.23

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人顾元钧吴世民

(74)专利代理机构深圳市嘉勤知识产权代理有限公司44651

专利代理师刘婧

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

C23C16/54(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

C30B25/12(2006.01)

C30B29/36(2006.01)

C30B25/16(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

权利要求书3页说明书12页附图8页

(54)发明名称

托盘承载装置、加载腔室、半导体工艺设备

及传输方法

(57)摘要

CN119506841A本申请公开一种托盘承载装置、加载腔室、半导体工艺设备及传输方法，其中托盘承载装置中，基座用于承载托盘，所述托盘用于承载至少一个衬底；所述托盘旋转机构和所述至少两个托盘定心机构围绕所述基座均匀分布设置；所述托盘旋转机构与所述