CN119522189A 制造mems设备的分层结构的方法和具有此类分层结构的mems设备 （欧蒙泰德有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119522189A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202380053835.0

(22)申请日2023.07.12

(30)优先权数据

102022117679.72022.07.14DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.14

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0693602023.07.12

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/013250DE2024.01.18

(71)申请人欧蒙泰德有限公司

地址德国伊策霍市基尔希霍