CN119517815A 真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制方法 （无锡邑文微电子科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517815A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510096484.2

(22)申请日2025.01.22

(71)申请人无锡邑文微电子科技股份有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区观山路1

号

申请人江苏邑文微电子科技有限公司

(72)发明人张惠贤杨国际王显亮孙文彬

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

专利代理师汪莉萍

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图4页

(54)发明名称

真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统

及其控制方法

(57)摘要

CN119517815A本发明公开了一种真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制方法，涉及半导体设备技术领域。该气动控制系统设置有第一隔断阀，通过与第二驱动回路连接的第一保护气路控制第一隔断阀的开关，进而控制开合盖保护回路与进气管路的连通，保证了只有在转动机构固定，提升气缸不会随转动机构转动的情况下才能打开开合盖保护回路。通过在开合盖保护回路中设置双手控制阀，当开合盖保护回路打开后，要求操作人员必须双手操作才能打开气控阀，通过气控阀连通进气管路和第一驱动回路，进而驱动提升气缸动作，实现开合盖；提