CN119517828A 一种静电吸盘及其制造方法 （上海玄亨科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517828A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202411573573.3

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人上海玄亨科技股份有限公司

地址201601上海市松江区米易路166号1

幢110室

(72)发明人朱宁

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师王振徐雯琼

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种静电吸盘及其制造方法

(57)摘要

CN119517828A本发明提供一种静电吸盘及其制造方法，所述静电吸盘包括：金属基座，其内设有若干个气体通道和升降通道；陶瓷罩，其罩设在所述金属基座上；接合层，其设置在所述金属基座和陶瓷罩之间，用于连接所述陶瓷罩和金属基座；所述陶瓷罩包括：陶瓷盘，其位于所述金属基座上方，所述陶瓷盘上设有贯穿所述陶瓷盘的上表面和下表面的气体套管和升降套管；所述气体套管穿过所述接合层与所述气体通道连通；所述升降套管穿过所述接合层与所述升降通道连通；陶瓷环，其上部与所述陶瓷盘的周向边缘连接，下部环绕套设在所述接合层和金属基座的周向，覆盖所述接合层和金属基座的侧壁，有效防止了等离子体从侧面侵蚀接合