CN120082852A 一种微米级金属薄膜阵列的制备方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120082852A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510262214.4

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人合肥致真精密设备有限公司

地址230000安徽省合肥市新站区站北社

区铜陵北路与西淝河路交叉口芯视

界·科创大厦A栋9层

(72)发明人程厚义王林杜寅昌李玉婷

(74)专利代理机构合肥市科深知识产权代理事

务所(普通合伙)34235

专利代理师金灿

(51)Int.Cl.

C23C14/35(2006.01)

C23C14/16(2006.01)

C23C14/04(2006.01)