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半导体厂巡检手册

一、巡检总则

（一）巡检目的

半导体制造过程对环境参数、设备状态、物料品质有着极高的要求，任何微小的偏差都可能导致产品良率下降、生产中断甚至安全事故。巡检作为半导体厂生产运营中的核心环节，旨在通过定时、定点、定项的检查，及时发现并消除生产过程中的潜在隐患，确保生产设备稳定运行、工艺参数精准可控、产品质量符合标准，同时保障生产环境的安全性与合规性。

（二）巡检范围

本手册所涵盖的巡检范围覆盖半导体厂全生产流程及配套设施，主要包括以下区域：

生产车间：光刻区、刻蚀区、薄膜沉积区、离子注入区、清洗区、扩散区等核心工艺制程区域。

辅助车间：动力站（包括电力供应系统、压缩空气系统、氮气系统等）、纯水制备车间、废气处理车间、废水处理车间等。

仓储区域：原材料仓库、半成品仓库、成品仓库、危化品仓库等。

公共区域：厂区配电室、消防控制室、中央空调机房、电梯间、安全通道等。

（三）巡检人员职责

一线巡检员：严格按照巡检计划和标准流程开展日常巡检工作，如实记录巡检过程中发现的异常情况，及时上报并跟踪问题处理进度；负责巡检工具的日常维护与校准，确保其功能正常；积极参与巡检技能培训，不断提升专业素养。

巡检班组长：统筹安排班组巡检任务，审核巡检记录，对巡检过程进行监督与指导；组织班组内部的异常分析与处理会议，协调相关部门解决巡检中发现的复杂问题；定期对巡检工作进行总结与评估，提出改进建议