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CN120280362A 套刻误差的补偿方法 （华虹半导体(无锡)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120280362A 套刻误差的补偿方法 （华虹半导体(无锡)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120280362A

    (43)申请公布日2025.07.08

    (21)申请号202510293403.8

    (22)申请日2025.03.12

    (71)申请人华虹半导体（无锡）有限公司

    地址214028江苏省无锡市新吴区新洲路

    30号

    (72)发明人陈功董俊宋振伟张其学

    陈浩

    (74)专利代理机构上海浦一知识产权代理有限

    公司31211

    专利代理师戴广志

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    H01L21/68(2006.01)

    权利要求书1页说明书3页

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