CN119547184A 基板处理装置和基板处理方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119547184A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380052931.3

(22)申请日2023.07.13

(30)优先权数据

2022-1159422022.07.20JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.09

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0258542023.07.13

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/018986JA2024.01.25

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人小