CN119556324A 一种基于介谱光源的实时束流测量系统及其自校准方法 (苏州焜原光电有限公司).docxVIP

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  • 2026-05-14 发布于山西
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CN119556324A 一种基于介谱光源的实时束流测量系统及其自校准方法 (苏州焜原光电有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119556324A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510127558.4

(22)申请日2025.02.05

(71)申请人苏州焜原光电有限公司

地址215211江苏省苏州市吴江区黎里镇

汾湖大道558号

(72)发明人张永刚陈意桥颜全

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257

专利代理师白晨聪

(51)Int.Cl.

G01T1/29(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

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