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微电子系统测试方法与性能优化研究

目录

一、文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4研究内容与创新点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.5本研究的技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

二、微电子系统测试方法体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1测试技术发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2电气特性分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3可靠性评估技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.4缺陷定位与诊断方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．