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基于垂直方向位移扫描的接触式表面形貌仪孙艳玲，等

基于垂直方向位移扫描的接触式表面形貌仪

ContactSurfaceContourgraphBasedonVerticalDisplacementScan

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(湖北襄樊学院机械工程系’，襄樊441053；华中科技大学机械学院仪器系，武汉430074)

摘要：为减4,~Jl量误差，设计了基于垂直位移扫描的接触式表面形貌仪。该测量仪以保持杠杆处于平衡位置为测量前提，X_Y向，

Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器；X—Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位，Z向电机采用压电陶瓷驱

动微定位。总体论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定