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基于高反射膜的SiC基光导开关研究.pdf

基于高反射膜的SiC基光导开关研究.pdf

    摘要

    在国防现代化装备体系和高能医疗设备等尖端技术领域，光导开关凭借其体积紧

    凑、峰值功率高、耐压能力强、响应速度快以及低触发抖动等特性，显现出巨大的应用

    潜力。第三代半导体碳化硅（SiC）依托其卓越的高热导率、高击穿场强以及抗辐射特

    性，成为光导开关理想基底材料之一。本文针对横向型光导开关存在光吸收效率低和表

    面闪络失效等问题，提出背部触发方式的新型TiO/SiO多层介质绝缘高反射膜的横向

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