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氧化镓的表面外延及物性研究.pdf

氧化镓的表面外延及物性研究.pdf

    摘要

    近年来，在全球能源危机和气候变暖的双重压力下，传统化石能源的不可持续性和

    高碳排放问题已经成为全球的重要议题。新能源的高效利用取决于电力转换和传输系统

    的高效调控及协同优化，而作为电能转换核心的功率半导体器件在提升系统效率和降低

    功率损耗方面具有关键作用。然而由于硅基功率器件的材料物理特性已达极限，难以满

    足高功率密度和超低能耗的技术需求，这使得开发以氧化镓（GaO）为代表的超宽禁

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