CN119585462A 用于处理柔性基板的处理装置及其方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585462A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202280098362.1

(22)申请日2022.07.26

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2022/0709452022.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/022578EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人塞巴斯蒂安·弗兰克丹尼尔·斯托克

曼努埃尔·费舍尔斯蒂芬·班格特

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

C23C14/14(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C23C14/58(2006.01)

C23C16/06(2006.01)

C23C16/54(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

用于处理柔性基板的处理装置及其方法

(57)摘要

CN119585462A描述了一种用于处理柔性基板（10）的处理装置（100）。该处理装置（100