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微环谐振器概述

1.1微环谐振器的基本原理

微环谐振器（microringringresonator,MRR）在本质上是一个环形光波导，当谐

振腔内的光程长度为波长的整数倍时，该波长的激光会发生谐振。微环谐振器通

常存在一系列等间距的谐振波长，任意两者之间的距离即为自由光谱范围（FSR）,

这是一个很重要的性能指标。由于MRR具有频率选择特性，故而被广泛应于波

分复（WDM）系统，一般要求，FSR的数值足够大（纳米级别），但这同样对

制造提出了更高的要求。这意味着环形波导的半径足够小。

如上所述，MRR的选择特性可以看作是一个光频谱滤波器，当环形光波导耦

合在直波导附近时其传输特性曲线会有一个凹陷，该谐振波长的位置除了与本身

的参数有关外，受温度等外界环境的影响也很大。一方面，可以利这种性质应

于在特定的场合；另一方面却会导致工作状态的不稳定。

MRR可以分为全通（ALL-pass）以及上传-下载（Add-Drop）型两种基本结构。

其中，上传-下载型由一个环形波导和上下两个直波导耦合组成，与马赫-曾德

（MZI）调制器相比，微环谐振器的尺寸更小（微米级别），且功耗更低，更加适

于大规模高密度集成。微环谐振器