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基于硫系玻璃薄膜的埋入式光波导特性研究.pdf

基于硫系玻璃薄膜的埋入式光波导特性研究.pdf

    摘要

    集成光子芯片凭借传输速度高、大带宽、低能耗等优势，成为替代传统集成电子

    芯片的有力竞选者，光波导作为光子芯片的基础元件，其传输特性表现将直接影响集

    成光子器件的整体性能。硫系玻璃因具备显著的线性与非线性折射率、极快的非线性

    响应特性以及宽广的红外透过范围等光学特性在中红外应用领域独树一帜，使其在多

    种衬底材料上集成光子器件的应用推广中具有巨大的发展潜力。硫系光波导常见制备

    技术，如离子注入、等离子体蚀刻等，虽已取得诸多成果，但普遍制备工艺复杂，成

    本较高，因此诸多学者仍在寻求一种更经济、

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