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中国科技期刊数据库工业A

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硅压阻式压力传感器优化设计分析

薛敏李建斌陈贤孝叶信望

浙江汉博汽车传感器有限公司，浙江温州325200

摘要：采取有效的措施，对硅压阻式压力传感器予以优化设计，可以进一步提升传感器的应用效果。基于此，本

文从硅压阻式压力传感器概述展开论述，分析了硅压阻式压力传感器的工作原理，并提出了整体结构优化设计、

压阻条尺寸优化设计、结构设计仿真分析、运用优化算法、压力传感器变压测试这几项硅压阻式压力传感器优化

设计措施，希望能够为传感器设计工作的开展提供参考。

关键词：压力传感器；传感器设计；硅压阻式传感器

中图分类号：TP212

0引言的情况，但无论采用哪种封装模型，其能够达到一定

的小型化水平，安装较为方便，适用于多个领域。此

硅压阻式压力传感器广泛应用于各种工业自控环