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基于DSP的光栅分度盘及其光栅信号精细分.pdf

基于DSP的光栅分度盘及其光栅信号精细分·33·

基于DSP的光栅分度盘及其光栅信号精细分

钱伟康,鲁湛

(上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093)

摘要:对提高光栅的细分准确度进行了研究,提出了一种正切与余切相结合的方法。针对实际光栅信号

的不稳定性,利用光栅发讯头输出正切、余切信号峰峰值与直流电平的漂移,自动修正反正切与反余切

的查找表格。该方法应用于精密倾光学分读盘测量系统,使细分误差仅与光栅信号第一个采样值和最

后一个采样值的精度有关,与测量过程中的光栅信号采样值的误差无关,同时采用DSP处理采样数据,

速度更快,并成功应用于光栅分读盘系统,精度为2”。

关键词:光栅;正余切结合;自校正;DSP

中图分类号:TH741.6文献标识码:A文章编号:1000—8829(2012)10—0033—04

GratingIndexingPlateandFinePointsGratingSignalBasedonDSP

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