CN119593039A 基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态测定方法 （株式会社荏原制作所）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119593039A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411517665.X

(22)申请日2022.08.26

(62)分案原申请数据

202280041940.82022.08.26

(71)申请人株式会社荏原制作所地址日本

(72)发明人下山正増田泰之樋渡良辅

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师姜越

(51)Int.Cl.

C25D17/00(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

C25D5/02(2006.01)

C25D7/12(2006.01)

权利要求书1页说明书11页附图8页

(54)发明名称

基板状态测定装置、镀覆装置以及基板状态

测定方法

(57)摘要

CN119593039A对作为镀覆对象的基板的状态进行测定。基板状态测定装置具备：工作台，其构成为对具有晶种层和形成在上述晶种层上的抗蚀剂层的基板进行支承并使其旋转；至少一个白色共焦式传感器，其用于对被上述工作台支承的基板的板面进行测定；以及状态测定模块，其基于上述白色共焦式传感器对上述基板中的与供电部件接触的区域亦即供电部件接触区域的检测，来测定上

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